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合成石英材料

適用于光學(xué)、半導(dǎo)體、光伏、顯示面板、光通信、光源等行業(yè)應(yīng)用。

長飛石英公司基于自主CVD合成工藝，使用SiCl₄，有機(jī)硅烷等原料，結(jié)合多種純化及摻雜技術(shù)，制備高品質(zhì)合成石英材料，為客戶提供性能優(yōu)異、穩(wěn)定、可定制化的石英材料及產(chǎn)品。

半導(dǎo)體用合成石英

型號	產(chǎn)品類型	典型尺寸 (mm)	產(chǎn)品特性
YS-1220	石英錠	Φ150x100	長飛半導(dǎo)體用合成石英錠，基于多種合成石英制備工藝，具備優(yōu)異且穩(wěn)定的各項理化性能： ppb級別雜質(zhì)含量羥基含量可控（0.5-1000ppm) 可充分滿足半導(dǎo)體、顯示面板、光伏生產(chǎn)中各工藝制程的應(yīng)用需求
		Φ300x50
		400x400x50
YS-2230/YS-1230		500x500x60
YS-1240		Φ1000x30
YW-1804/1806/1808/1812	石英晶圓	Φ150~300 最小厚度：0.05
YSM-6025/YSM-6025R	掩膜基板	152.4x152.4x6.35
YR-1220 / YR-1230 / YR-1240	石英棒	Φ2~200 最大長度：3000
YT-2220 / YT-2230	石英管	外徑范圍：15 ~ 90 壁厚范圍：1.0 ~ 30 最大長度：2000

典型的微量雜質(zhì)含量^①（ppm）

型號	Li	Na	K	Mg	Ca	Cu	Al	Cr	Fe	Ti	OH
YS-1320 / YS-1220	<0.001	≤0.003	≤0.001	≤0.001	≤0.001	?≤0.001	≤0.003	≤0.001	≤0.001	≤0.005	<1
YS-2330 / YS-2230	<0.001	≤0.005	≤0.005	≤0.005	≤0.005	≤0.001	≤0.005	≤0.001	≤0.001	≤0.008	<250

光通信，光源用合成石英

典型型號?	典型尺寸 (mm)	OH含量 (ppm)	相對折射率	金屬雜質(zhì)含量(ppm)	產(chǎn)品特性
YT-2120 / YT-2420	外徑范圍：Φ15 ~ 90 壁厚范圍：1.0 ~ 30 最大長度：2000	≤ 1	—	≤ 0.05	長飛合成石英管，基于合成石英制備工藝及“無接觸法”管材拉制工藝，具備優(yōu)異且穩(wěn)定的各項理化性能與外形幾何指標(biāo)：極佳的深紫外到近紅外波段光學(xué)透過率羥基含量可控（0.02-200ppm）折射率可定制（深摻氟）NA=0.22 可滿足光纖預(yù)制棒制備、光源、醫(yī)療、工業(yè)等各行業(yè)對石英玻璃的嚴(yán)苛應(yīng)用要求
YT-2121 / YT-2421		≤ 1	-0.35% ~ 0
YT-2110 / YT-2410		≤ 0.1	—
YT-2130		50 ~ 200	—
YT-1121*	—	≤ 1	-1.1% ~ 0
YR-1120	石英棒	≤ 1	—
YR-1140	石英棒	>1（可定制）	—

幾何規(guī)格與精度（單位：mm）

主要參數(shù)	襯管	小規(guī)格套管	大規(guī)格套管
外徑OD	15 ~ 40	40 ~ 60	60 ~ 90
壁厚WT	1.0 ~ 10	2 ~ 15	10 ~ 30
外徑公差	± 0.80	± 0.80	± 2.00
壁厚公差	± 0.30	± 0.30	± 3.00
不圓度	≤ 0.15	≤ 0.40	≤ 0.40
偏壁	≤ 0.15	≤ 0.45	≤ 0.45
CSA偏差	≤ 6.0%	≤ 6.0%	≤ 6.0%
弓曲(mm/m)	≤ 0.70	≤ 0.70	≤ 0.70
長度	≤ 2000	≤ 2000	≤ 2000

注：高精度管可定制規(guī)格

光學(xué)用合成石英

型號	產(chǎn)品類型	OH含量(ppm)	光學(xué)均勻性(ppm)^①	應(yīng)力雙折射 (nm/cm)^①	條紋等級^③	熒光^④	氣泡^②	雜質(zhì)含量(ppb)	產(chǎn)品特性
YS-1320	石英錠	<1	≤5	≤5	5	輕微藍(lán)	0	≤ 100^⑤	長飛光學(xué)用合成石英錠，基于一步法、兩步法等多種合成石英制備工藝，具備優(yōu)異且穩(wěn)定的各項理化性能：極佳的深紫外到近紅外波段的光學(xué)透過率優(yōu)秀的光學(xué)均勻性、應(yīng)力與熱吸收控制羥基含量可控（0.5-1000ppm) 可充分滿足精密光學(xué)、激光等多種光學(xué)應(yīng)用需求
YS-2330	<250	≤5	≤5	5	無

型號

產(chǎn)品類型

OH含量(ppm)

光學(xué)均勻性(ppm)^①

應(yīng)力雙折射

(nm/cm)^①

條紋等級^③

熒光^④

氣泡^②

雜質(zhì)含量(ppb)

產(chǎn)品特性

YS-1320

石英錠

≤5

輕微藍(lán)

≤ 100^⑤

長飛光學(xué)用合成石英錠，基于一步法、兩步法等多種合成石英制備工藝，具備優(yōu)異且穩(wěn)定的各項理化性能：

極佳的深紫外到近紅外波段的光學(xué)透過率
優(yōu)秀的光學(xué)均勻性、應(yīng)力與熱吸收控制
羥基含量可控（0.5-1000ppm)

可充分滿足精密光學(xué)、激光等多種光學(xué)應(yīng)用需求

YS-2330

<250

≤5

無

①：可根據(jù)用戶需求定制更低應(yīng)力雙折射產(chǎn)品

②：0級標(biāo)準(zhǔn)：每100cm³玻璃中氣泡橫截面的總和不超過 0.015mm²，最大顆粒直徑滿足1/1*0.08

③：條紋等級參照ISO-10110

④：使用254nm泵燈激發(fā)

⑤：標(biāo)準(zhǔn)值≤100ppb，典型值≤20ppb

光學(xué)均勻性

△n均勻性等級（單位：ppm）

型號	S^①	H2	H5	H10
YS-1320	≤ 1	≤ 2	≤ 5	≤ 10
YS-2330	≤ 1	≤ 2	≤ 5	≤ 10

①S級可根據(jù)需求定制提供

②不同光均等級，對應(yīng)于相應(yīng)的尺寸，詳細(xì)指標(biāo)可與長飛公司聯(lián)絡(luò)確認(rèn)?

光學(xué)透過性能

應(yīng)力雙折射

注：測試為材料90%區(qū)域

熱吸收系數(shù)

型號	熱吸收系數(shù)@1064nm(ppm/cm)
YS-1320	<1
YS-2330	<3

注：熱吸收系數(shù)測試采用偏轉(zhuǎn)法（1064nm），檢測結(jié)果僅基于本公司的標(biāo)準(zhǔn)與方法

折射率^①

譜線波長（nm）	折射率		譜線波長（nm）	折射率
譜線波長（nm）	YS-2330	YS-1320	譜線波長（nm）	YS-2330	YS-1320
194.2	1.559066	1.559033	632.8	1.457158	1.457106
365	1.474671	1.474616	643.8	1.456845	1.456794
404.6	1.469755	1.469702	656.3	1.456506	1.456458
435.8	1.466831	1.466778	706.5	1.455286	1.455232
479.9	1.463639	1.463592	852.1	1.452608	1.452558
486.1	1.463261	1.463220	1013.98	1.450390	1.450338
546.1	1.460218	1.460163	1529.6	1.444422	1.444361
587.6	1.458602	1.458549	1970.1	1.438731	1.438667
589.3	1.458542	1.458492	2325.4	1.433034	1.432974

①：測試條件：20.0℃，1atm大氣壓，濕度50.0%

Sellmeier方程色散常數(shù)

型號	B1	C1	B2	C2	B3	C3	B4	C4
YS-2330	0.124307	0.006456	0.823954	0.006473	0.156097	0.017157	0.673277	74.923787
YS-1320	0.112372	0.006311	0.811965	0.006294	0.179903	0.016600	0.697481	77.351514

Sellmeier Equation：n²-1=B₁λ²/(λ²-C₁)+B₂λ²/(λ²-C₂)+B₃λ²/(λ²-C₃)+B₄λ²/(λ²-C₄)，λ in μm

長飛合成石英-其它指標(biāo)

機(jī)械性能

參數(shù)	單位	測試結(jié)果
密度	g/cm³	2.20
莫氏硬度	-	7
楊氏模量	GPa	74.20
剪切模量	GPa	31.22
泊松比	-	0.17
抗壓強(qiáng)度	GPa	0.113
抗拉強(qiáng)度	MPa	49
彎曲強(qiáng)度	MPa	94.3

電學(xué)性能

參數(shù)	單位	測試結(jié)果
介電常數(shù)(20°C,500MHz)	-	3.90
電阻率(20°C)	?·cm	0.1*10¹⁸
介電損耗角度(tanδ,500MHz)	-	< 0.001
電阻	?	8.0*10¹⁵

熱學(xué)性能

參數(shù)	單位	YS-1320	YS-2330
應(yīng)變點(η=10^14.5dPa·s)	°C	1070	1000
退火點(η=10¹³dPa·s)	°C	1200	1160
軟化點(η=10^7.6dPa·s)	°C	1680	1620

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